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產(chǎn)品中心

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MDPlinescan
產(chǎn)品簡介

靈活的OEM設(shè)備,用于多種不同樣品的在線壽命測量:從單晶硅到多晶硅錠,從生成態(tài)晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控制。標(biāo)準(zhǔn)軟件接口,易于連接到許多處理或自動(dòng)化系統(tǒng)。

產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2024-09-11
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:1576
詳細(xì)介紹在線留言

應(yīng)用范圍:靈活的OEM設(shè)備,用于多種不同樣品的在線壽命測量:從單晶硅到多晶硅錠,從生成態(tài)晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控制。標(biāo)準(zhǔn)軟件接口,易于連接到許多處理或自動(dòng)化系統(tǒng)。

在線面掃和單點(diǎn)檢測

MDPlinescan是一個(gè)易于集成的OEM單元,可集成到各種自動(dòng)化的檢測線。關(guān)鍵的測量參數(shù)是實(shí)時(shí)的載流子壽命掃描。
樣品通常由測量頭下的傳送帶或機(jī)器人系統(tǒng)來輸送。應(yīng)用實(shí)例從晶錠到晶圓的檢測,每個(gè)晶圓的測量速度小于一秒。
電池生產(chǎn)線上的來料質(zhì)量檢查是用的一種應(yīng)用方向,同樣,鈍化和擴(kuò)散后的工藝質(zhì)量檢查也能用到此款產(chǎn)品。

 

 

還有許多其他的專門應(yīng)用可能性。由于其易于集成,只需要以太網(wǎng)連接和電源。                                                              
  

特性

允許單片調(diào)查
配方的基礎(chǔ)測量
監(jiān)控材料質(zhì)量、工藝的完整性和穩(wěn)定性

優(yōu)勢
在μ-PCD或穩(wěn)態(tài)激發(fā)條件下測量少數(shù)載流子壽命和電阻率是這個(gè)工具的重點(diǎn)。
用于集成在生產(chǎn)線的多晶或單晶硅晶圓在不同的準(zhǔn)備階段,直到設(shè)備,磚或錠。
小尺寸和標(biāo)準(zhǔn)的自動(dòng)化接口使集成變得容易。重點(diǎn)是長時(shí)間的可靠性和測量結(jié)果的精度。

 

技術(shù)參數(shù)

樣品

多晶或單晶晶圓原料, 晶錠,晶胞

樣品尺寸

大約50 x 50 mm2

電阻率

0.2 - 103 Ohm cm

conduction type

p, n

材質(zhì)

硅晶圓,部分或*加工的晶圓,復(fù)合半導(dǎo)體等

測量屬性

載流子壽命

硬件接口

ethernet

大小

174 x 107 x 205 mm, 重量t: 3 kg

電源

24 V DC, 2 A

 

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